Flip-chip joined 8X8 array of bottom - emitting 850 nm light-emitting diodes for interconnect applications

P. Heremans, P. Merken, J. Genoe, R. Windisch, C. Van Hoof, G. Borghs

Résultats de recherche: Contribution à un journalArticle de conférenceRevue par des pairs

Résumé

We present an array of GaAs-based light-emitting diodes emitting at 850 nm, which is designed to be flip-chip joined on carriers like a silicon CMOS circuit. The light-emitting diodes are grown by MBE. After processing of the array and flip-chip joining using Indium-bumps, the substrate of the LED array is removed completely. Individual light-emitting diodes reach an external quantum efficiency of 3.3% after the complete process.

langue originaleAnglais
Pages (de - à)10-15
Nombre de pages6
journalProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Volume3288
Les DOIs
étatPublié - 1998
EvénementOptoelectronic Interconnects V - San Jose, CA, États-Unis
Durée: 28 janv. 199829 janv. 1998

Empreinte digitale

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